ASML已研发第三代EUV光刻机:像盖大楼一样造芯片

作为全球唯一量产EUV光刻机的企业,荷兰ASML在EUV技术研发上也快人一步,现在已经在研发第三代EUV光刻机了。第一代EUV光刻机是目前在用的,典型特征是NA0.33,第二代EUV光刻机就是High